环境科学学报

2020, v.40(09) 3174-3179

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中国集成电路制造行业VOCs排放特征及控制对策
VOCs emission characteristics and control measures for integrated circuit manufacturing industry in China

崔阳阳;刘艳梅;迟文涛;何丽娟;曹西子;丁淮剑;薛亦峰;

摘要(Abstract):

中国电子信息产业发展迅速,集成电路等电子器件产量不断增加.在集成电路制造的过程中,大量有机溶剂的使用导致VOCs的产生和排放,从而对大气环境造成影响.为掌握集成电路制造行业VOCs的排放特征,系统分析了其工艺流程和产排污环节,分析了行业废气收集和治理现状,通过对典型企业VOCs的排放监测,获得VOCs排放水平;采用排放因子法核算行业VOCs历史排放量,并基于行业排放特征及减排潜力分析,提出了相应的污染防治对策.结果表明:在集成电路制造中,VOCs排放环节主要集中在光刻、清洗、去胶等过程,1 m~2集成电路产量约使用87 g有机溶剂,VOCs产生量较大;通过采取高效的VOCs治理技术,集成电路制造行业有组织排放水平较低,平均浓度为2.1 mg·m~(-3),但厂界无组织排放浓度相对较高,平均浓度为0.78 mg·m~(-3),接近国家标准的排放限值.根据排放量核算结果,2011—2016年中国集成电路制造行业VOCs排放量呈逐年上升的趋势,主要受产量增加而相应污染控制技术水平提升有限的影响,无组织排放量比重大,占排放总量的38.1%~45.1%.

关键词(KeyWords): 集成电路;VOCs;排放特征;减排潜力;控制对策

Abstract:

Keywords:

基金项目(Foundation): 国家重点研发计划课题(No.2016YFC0201106);; 北京市环境保护科学研究院科技基金项目(No.2019-B-02)

作者(Author): 崔阳阳;刘艳梅;迟文涛;何丽娟;曹西子;丁淮剑;薛亦峰;

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DOI: 10.13671/j.hjkxxb.2020.0110

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